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射频电源产品
射频电源系列产品

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快32014年开始,公司承担了国家科技重大专项02专项中的“射频发生器研发及产业化”项目,开始进入集成电路行业。作为半导体重要设备替换零部件的射频电源的研制成功,将大大推动我国集成电路行业设备的国产化水平。目前,公司借助国家02专项实施的契机,全力打造半导体、平板显示、太阳能光伏、真空镀膜、医疗器械、等离子清洗、离子注入等行业应用的射频电源系列产品,全力提升国内射频电源产品的技术水平!

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产品系列

分割线
  • 箭头2MHz 1.5kW/3kW/5kW/8kW射频电源
  • 箭头13.56MHz 750W/1kW射频电源
  • 箭头13.56MHz 1.5kW/3kW/5.5kW/10kW匹配器

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